طراحی و شبیه سازی TMAP سنسور با کاربرد در صنعت خودروسازی همراه با مدار پردازشگر CMOS
نوشته شده توسط : admin

طراحی و شبیه سازی TMAP سنسور با کاربرد در صنعت خودروسازی همراه با مدار پردازشگر CMOS

دانشکده فنی
گروه مهندسی برق
پژوهشکده میکروالکترونیک

پایان نامه برای دریافت درجه کارشناسی ارشد

استاد راهنمای اول: دکتر ابراهیم عباسپور ثانی
استاد راهنمای دوم: دکتر خیرالله حدیدی

تیر ماه 1389

برای رعایت حریم خصوصی نام نگارنده پایان نامه درج نمی شود

(در فایل دانلودی نام نویسنده موجود است)

تکه هایی از متن پایان نامه به عنوان نمونه :

فهرست
1-1 مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 1
2-1 تکنولوژی MEMS چیست؟ ……………………………………………………………………………………………………………………………….. 2
3-1 فوائد MEMS …………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 4
4-1 مزایای ساختن MEMS ………………………………………………………………………………………………………………………. 5
5-1 اصول ساخت MEMS ………………………………………………………………………………………………………………………… 6
فصل اول: آشنایی با تکنولوژی MEMS

فصل دوم: سنسورهای MEMS فشار و دما
1-2 مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 8
2-2 سنسورهای فشار ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………. 8
3-2 واحد های فشار و ضرایب تبدیل آنها به هم ………………………………………………………………………………………………………… 11
4-2 اندازه گیری فشار …………………………………………………………………………………………………………………………………………………… 11
5-2 سنسورهای فشار پیزومقاومتی ………………………………………………………………………………………………………………………………. 13
1-5-2 سنسور پیزورزیستیو برای کاربرد در Monifold ماشین در دمای بالا …………………………………………………. 16
6-2 سنسورهای فشار خازنی …………………………………………………………………………………………………………………………………………. 19
1-6-2 متدی برای بدست آوردن حساسیت بالا در سنسور فشار ………………………………………………………………………… 20
7-2 چگونگی اندازه گیری خروجی یک سنسور فشار خازنی (Capacitance Read-Out Circuit) …………………. 25
1-7-2 تبدیل خازن به فرکانس …………………………………………………………………………………………………………………………. 25
2-7-2 تبدیل تغییرات خازنی به ولتاژ ……………………………………………………………………………………………………………….. 25
8-2 سنسورهای دما …………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 27
1-8-2 سنسور دمای مقاومتی(Resistive Temperature Microsensors ) ……………………………………….. 27
9-2 طرحی ساده برای چندگانه کردن سنسورها ……………………………………………………………………………………………………….. 30
فصل سوم : سنسور TMAP در خودرو
1-3 مقدمه ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………. 34
2-3 معایب عمده و ذاتی کاربراتور ………………………………………………………………………………………………………………………………. 35
3-3 سیستم تزریق سوخت الکترونیکی(electric fuel injection) EFI چیست ؟ …………………………………………… 35
4-3 سنسور فشار منیفولد و دمای هوای ورودی ………………………………………………………………………………………………………….. 37
1-4-3 سنسور فشار هوای مانیفولد MAP sensor ……………………………………………………………………………… 37
2-4-3 سنسور دمای هوای ورودی ………………………………………………………………………………………………………….. 39

فصل چهارم : طراحی و شبیه سازی سنسورهای فشار و دما
1-4 مقدمه …………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 40
2-4 دلیل استفاده از روشهای اندازه گیری خازنی برای فشار و مقاومتی برای دما در سنسور ……………………………………. 41
3-4 شماتیک مقطع عرضی ساختار سنسور فشار و دما پیشنهادی …………………………………………………………………………….. 42
4-4 جابجایی دیافرگم طراحی شده با ازای فشارهای مختلف ……………………………………………………………………………………. 43
5-4 بررسی استرس stress وارد شده به دیافراگم ……………………………………………………………………………………………………… 49
6-4 اندازه گیری تغییرات خازن سنسور فشار ………………………………………………………………………………………………………………. 52
7-4 مدار پردازشگر سیگنال سنسور فشار …………………………………………………………………………………………………………………….. 56
8-4 سنسور دما ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………… 65
1-8-4 سنسورهای پیزو مقاومتی (پیزورزیستیو) ……………………………………………………………………………………………. 65
2-8-4 MAT sensor( Manifold Air Temperature) …………………………………………………………………… 65
3-8-4 مقاومت Negative Temperature Coefficient (NTC) …………………………………………………….. 65
4-8-4 موارد استفاده NTC ………………………………………………………………………………………………………………………….
5-8-4 طراحی سنسور دما ………………………………………………………………………………………………………………………………. 66
67
9-4 پروسه ساخت سنسورهای فشار و دما …………………………………………………………………………………………………………………… 74

فصل پنجم : نتیجه گیری و مقایسه
1-5 نتیجه گیری ………………………………………………………………………………………………………………………………………………………….. 81
2-5 مقایسه ……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………. 82

 

مقدمه :
تکنولوژی MEMS مبنی بر تعدادی وسایل و روشهاست که برای ساختن ساختارهایی با اندازه میکرومتر میباشد. قسمتهای اصلی این تکنولوژی از تکنولوژی ساخت مدارهای مجتمع(integrated circuits) بدست آمده است برای مثال، تقریبا تمام ساختارها، همانند IC روی یک ویفر سلیکونی ساخته شده اند. تمامی ساختارها همانند IC با لایه نشانی یک لایه نازک از فلز تعریف میشوند یا اینکه طرح و نقشه آنها با استفاده از روشهای فتولیتوگرافی(photolithographiy ) صورت می پذیرد. البته در MEMS مراحلی نیز وجود دارد که از تکنولوژی IC نیستند و هر چه قدر تکنولوژی پیشرفت میکند فاصله این دو تکنولوژی از هم زیادتر میگردد.
اخیراً تکنولوژی MEMS پیشرفت قابل توجهی را در ساخت و تست وسایل جدید کسب کرده است و تکنولوژی¬های نو و کاربردهای جدیدی به واسطه آن بوجود آمده است.
ویژگی¬هایی مانند وزن کم، اندازه کوچک، مصرف انرژی پایین و پایداری و مقاومت وسایل ساخته شده با این تکنولوژی روز به روز بر جذابیت و رشد این صنعت می¬افزاید. وسایل MEMS¬ی بیشماری وجود دارد که در عرصه¬های مختلفی از علم و مهندسی به-طور موفقیت¬آمیزی استفاده شده است. به عنوان مثال می¬توان از کاربردهای وسایل MEMS در چاپگرهای سریع، میکروپمپ¬ها، آنتن¬های نمایشگر تصویر و شتاب¬سنج¬های کیسه هوا را نام برد که جایگزین وسایل مرسوم شده¬ و در نتیجه باعث کاهش در هزینه¬ها شده¬اند.
در حال حاضر وسایل MEMS توسعه زیادی را در پهنه وسیعی از زندگی داشته¬اند[2] که از آن جمله می¬توان به کاربردهای دارویی، وسایل کمکی در دیدن و شنیدن، سیستم¬های اندازه¬گیری و پاشش مقدار معینی از دارو و شبیه¬سازی عصبی را نام برد.
بازار وسایل MEMS بر پایه سیلیکون در سال 2005 به مقدار 1/5 میلیارد دلار رسید. روند صعودی بازار وسایل MEMS تا سال 2010 در شکل2-1 پیش بینی شده است. این در حالی است که بازار وسایل دیگر MEMS که بر پایه پلی¬مرها می¬باشد و بیشتر معطوف به مشتقات دارویی است در اینجا نشان داده نشده است. بر طبق این پیش بینی توقع داریم که این بازار در سال 2010 به میزان 7/9 میلیارد دلار برسد. یعنی نرخ رشد % 15 می¬باشد [3]..

 

(ممکن است هنگام انتقال از فایل اصلی به داخل سایت بعضی متون به هم بریزد یا بعضی نمادها و اشکال درج نشود ولی در فایل دانلودی همه چیز مرتب و کامل است)

برای دانلود پایان نامه اینجا را کلیک کنید.





لینک بالا اشتباه است

برای دانلود متن کامل اینجا کلیک کنید

       
:: بازدید از این مطلب : 370
|
امتیاز مطلب : 0
|
تعداد امتیازدهندگان : 0
|
مجموع امتیاز : 0
تاریخ انتشار : یک شنبه 3 مرداد 1395 | نظرات ()
مطالب مرتبط با این پست
لیست
می توانید دیدگاه خود را بنویسید


نام
آدرس ایمیل
وب سایت/بلاگ
:) :( ;) :D
;)) :X :? :P
:* =(( :O };-
:B /:) =DD :S
-) :-(( :-| :-))
نظر خصوصی

 کد را وارد نمایید:

آپلود عکس دلخواه: